– 薄膜厚度、折射率、反射率、穿透率量測
– 幾乎所有透明、半透明、甚至會吸光的薄膜都可以量測
– 單層或多層疊膜、平面或曲面上的薄膜
當一個入射光從空氣穿透進入不同折射率的物質時，在其界面處將會有部分的光被反射，由於光的波動性導致從多個介面處的反射光彼此干涉，而使反射光的多波長光譜產生震盪的現象。
從光譜的震盪頻率，我們可以判斷不同界面的距離 (d) 進而得到材料的膜厚(越多的震盪代表較大的膜厚)。反射波形取決於薄膜的厚度與折射率。
