膜厚: 2 – 100um
應用: MEMS、micro arrays、VSCEL、waveguides、antennas、sensors、microfluidics、PDMS molding、pixel walls、fluidic channels、inkjet nozzles、spacers
相容光阻: SU-8
SQ系列是SU-8環氧樹脂的負型光阻，專為聚合物MEMS、微流體、微加工和微電子設計。它針對 2 至 100 微米的厚膜應用進行了最佳化。 SU-8 環氧光阻可產生具有優異的熱穩定性的清晰影像，這對於厚膜應用至關重要。 SQ 系列的特點是厚膜的垂直側壁，非常適合永久結構應用，包括 MEMS、微陣列、VSCEL、波導、天線、感測器、微流道、PDMS 成型、像素牆、流體通道、噴墨噴嘴等。
膜厚: 2 – 150um
應用: MEMS、micro arrays、VSCEL、waveguides、antennas、sensors、microfluidics、PDMS molding、pixel walls、fluidic channels、inkjet nozzles、spacers
相容光阻: SU-8 2000
SQ QuickDry 是一種環氧基負性光阻，專為聚合物 MEMS、微流體、微機械加工和各種微電子應用而設計。該系統針對厚度達 200 微米的薄膜和厚膜進行了最佳化，並使用更快乾燥的溶劑，可最大限度地縮短處理時間，從而提高產量。
