KLA Instruments 光學輪廓儀持續服務協助於多個不同的行業，包括化合物半導體、數據存儲、太陽能和顯示器、生物醫學和製藥、汽車和航空航天、金屬/玻璃/陶瓷製造、學術研究等。Profilm3D 與競爭對手相比具有以下幾個優勢:
– 以實惠的價格提供高質量的測量數據
– 具有簡單、創新的使用界面和自動化功能，可支持從研發、QA到生產的廣泛工作環境
– 具有業界領先的500um Z軸壓電長行程範圍的自動對焦，用來掃描由大距離高度差分隔的多個表面
– 具有長行程的自動化 X-Y 樣品台，非常適合測繪(mapping)和拼接(stitching)掃描
– Profilm軟體套件具有ProfilmOnline®雲端網絡服務功能，支持公共或私人數據庫可與您的同事共享量測數據，可提供靈活的數據存儲、可視化和分析解決方案
使用傳統顯微鏡，不可能同時聚焦整個視野中的每個像素。新一代 Profilm3D 的 TotalFocus™ 模式利用表面的 3D 測量數據生成每個像素都聚焦的圖像，從而產生清晰及高倍率圖像。
TotalFocus™ 技術在 MEMS、微加工和 3D 列印中的優勢
MEMS、微加工和 3D 列印應用通常在 Z 平面上具有較大的變化，並且通常需要比大的視野做測量，尤其是在更高的放大倍率下。它們還可能具有材料反射率或不尋常的表面輪廓的組合，這些組合很難用單個設定參數進行測量。 Profilm3D 無需使用多次掃描，而是使用同時測量技術，將 TotalFocus™ 的細節與干涉測量的速度相結合，生成單個 3D 測量圖像。該技術非常實用，可以測量各種樣品條件，包括低反射率、高斜率、粗糙和大台階樣品，從而給各類型樣品提供最理想的測量方法。
使用傳統白光干涉儀 (WLI) 測量粗糙表面的一個缺點是條紋對比度低，導致信噪比低。相位干涉儀 (PSI) 是另一種傳統上用於測量粗糙表面的技術，它具有最大的垂直測量範圍，可能不足以測量表面上增強的粗糙度。
Profilm3D 上新的增強粗糙度模式通過提高傾斜表面真實度所需的高條紋對比度和粗糙表面上超過 70% 的信號改善來解決這兩個挑戰。下面是幾個從 Profilm3D 表面輪廓儀中受益的應用實例，包括對太陽能電池測量應用的詳細說明。
ERM 在太陽能電池製造中的優勢
太陽能電池使用光伏技術轉換入射的陽光為電能。這通常使用包含鋁 (Al) 線來提高導電性，因為它在戶外環境中具有抗氧化性。太陽能電池通常製作在矽 (Si) 或砷化鎵 (GaAs) 基板上，這有助於降低其表面反射率。為了使太陽能電池發揮最佳性能，需要密切監測沉積鋁線的尺寸以及基板（Si 或 GaAs）的表面粗糙度，以確保均勻性。
新一代的 Profilm3D 結合了關鍵技術，可以快速測量表面粗糙度和關鍵尺寸，甚至可以測量太陽能裝置上最具挑戰性的光學元件。使用 ERM，Profilm3D 可以捕獲更高比例的低反射率和粗糙紋理的訊號，而不會使光學檢測器飽和。這種方法可以更準確地測量紋理表面和金屬線的尺寸變化。可以快速分析把太陽能電池區域的多個相鄰圖像輕鬆組合成一個大面積測量數據，光學輪廓儀展示了在過程監控和研發方面的強大功能和靈活性。
