Parylene鍍膜機

Parylene 是對二甲苯的通用名稱，它是一種獨特的聚合物，可鍍塗在任何真空相容的基板或元件上，以提供對熱、腐蝕、濕氣和電氣的阻隔薄膜層。其步驟包含: 1.汽化 - 在真空下加熱把聚對二甲苯從其固態二聚體形式蒸發成氣態。2.熱解 - 將二聚體的氣態通過高溫管式爐熱解成單體。3.沉積 - 在室溫下聚對二甲苯以聚合物的形式沉積在真空室中的基板或元件上。Parylene已經廣泛被應用到各個領域: 如微機電系統、醫療器材、電路元件、LED、半導體等。