電漿是指“電離氣體”。當向氣體原子或分子施加高能量時,電子會從粒子中分離出來,從而使氣體電離。 粒子會被分成為正離子和負離子、自由基和光子—形成電漿。
由於相同數量的帶正電和帶負電粒子(準中性),電漿顯示出明顯的中性。 由於電漿具有自由移動的電子和帶電粒子,因此它對電場和磁場高度敏感(集體行為)。
如今,電漿在許多工業領域發揮著至關重要的作用。 在半導體製造中,超過 70% 的工藝使用電漿。 通過利用電漿的化學和物理特性,我們可以改變材料的表面特性。 它是一種未來持續發展的技術,新的應用製程正在不斷被開發。