Home > Products > DisChem 先進微影化學品

www.discheminc.com/

DisChem是美國著名的奈米科技公司之一,擅長將工業、醫藥和能源等不同領域所使用的奈米技術應用在自家開發的化學品上,以提供給客戶先進微影製造所需的創新化學解決方案。DisChem擁有對奈米製造感興趣的認證專家,開發出從光學基板清潔、電鍍到最先進電子束微影製造所需的一系列高性能化學品,持續協助及提供客戶提高產量和降低成本的化學解決方案。

DisCharge 電子束抗電荷劑   |  SurPass 光阻附著力促進劑   |   HSQ 電子束光阻

DisCharge 電子束抗電荷劑

Discharge

DisCharge 是一種先進的水基抗電荷劑,適用在非導電基材上進行電子束微影 (EBL),以防止電荷累積在電絕緣基板上。可直接將 DisCharge 塗佈在電子束光阻上以形成導電膜,來有效地耗散電子以防止電荷積累。DisChage是水性的,可以很容易用水或 IPA 輕鬆去除,並且在 EBL 曝光後無殘留。

DisCharge有多種濃度可供選擇,以便更好控制所需的薄膜厚度及薄層電阻。 DisCharge 的標準濃度適用於大多數的應用,並在 1000 rpm 的塗佈速度下提供 40 nm 的薄膜厚度。DisCharge可兼容廣泛的電子束光阻,包含PMMA、HSQ、CSAR 62、ZEP 520A、SML 和 mr-PosEBR等。

優點:

- 有效消散電荷,適用於廣泛的電子束光阻 (PMMA, HSQ, mr-PosEBR, CSAR 62, ZEP 520A, SML)

- 在絕緣基板上提高電子束直寫圖形轉移的可靠性 (SiO2, fused silica, quartz, PDMS等基板)

- 水基配方具有優異的濕潤效果

- 旋塗後即可使用

- 使用純水或IPA輕鬆清洗,無殘留物

- 在學術研究或工業應用上,具價格競爭性

- 高度穩定性永久帶電非聚合物,常溫下保存期2年

Let’s Collaborate

We’d love to hear from you