膜厚: 2 – 100um
應用: MEMS、micro arrays、VSCEL、waveguides、antennas、sensors、microfluidics、PDMS molding、pixel walls、fluidic channels、inkjet nozzles、spacers
相容光阻: SU-8

HARE SQ™ 是一種環氧樹脂負型光阻，專為 MEMS、微流道、微機械加工和其他永久性微電子結構的應用而設計。 HARE SQ™ 對 NUV、i-line 和broadband有光敏感度。 薄膜厚度為 2 至 200 微米。用於永久性應用，包括 MEMS、微陣列、VSCEL、波導、天線、感測器、微流道、PDMS 成型、像素牆、流體通道、噴墨噴嘴等。