SurPass 附著力促進劑可在廣泛的基材上顯著地提高光阻附著力。通過與陽離子相互作用改變基材表面能，無需沉積薄膜或改變基材化學性質，即可增強光阻對基材的附著力。SurPass 是水基配方且無危害，使用簡單快速，可通過旋塗(spin coat)、浸漬(immersion)和噴塗(spray)等方式將 SurPass 塗附上基材，等待1分鐘左右後，再用DI water沖洗和氮氣吹乾(nitrogen blow)即可。無須再烘烤，可直接上光阻。

SurPass 在各種基材上表現出優異的附著力，包括玻璃、氮化矽、III-V族、金屬、金屬氧化物、陶瓷（紅寶石、藍寶石）和塑料 (PET)。 SurPass 與大多數正負型光阻和聚合物材料兼容，例如酚醛樹脂 (DNQ/Novolac)、聚甲基丙烯酸甲酯 (PMMA)、聚甲基戊二酰亞胺 (PMGI)、環氧基聚合物 (SU-8)、聚酰亞胺 (Polyimide)、電子束光阻等。

除了提高附著力外，SurPass 透過改變基材表面能，也可改進塗層流動性和均勻性，以提供更均勻的塗層表面。與 HMDS 不同，SurPass 不限於用在Si基材，可兼容廣泛的基材，且在使用過程中也不會形成氨或其分解產物，是安全且容易使用的光阻附著力促進劑。讓光阻和其它聚合物材料的附著力不再是個問題。