Filmetrics 膜厚量測儀 | 楷力恩科技有限公司

Filmetrics成立於1995年，其使命是讓薄膜測量變得簡單且價格合理。Filmetrics整合了優異的軟硬體可以在不到一秒的時間內完成薄膜厚度測量，使得操作員可以在幾分鐘內完成培訓。過去25年來全球企業和主要研究機構依靠Filmetrics進行經濟實惠的薄膜厚度測量。半導體薄膜、手機、眼鏡、液晶顯示器和數百種其它產品的製造商讚賞我們的設備易於使用、成本更低，並得到無與倫比的技術服務。事實上，我們的客戶每天都在向我們展示薄膜厚度測量工具的新用途！

可量測膜層

Semiconductor Fabrication

Photoresist/Polyimide
Oxides/Nitrides
Si and Other Semiconductor Filmes

MEMES

Photoresist/SU-8
Silicon Membranes
AlN
ZnO

Biomedical Devices

Polymer/Parylene Layers
Membrane/Balloon Wall Thickness
Drug Coatings on Implants

Liquid Crystal Displays

Cell Gaps
Polyimide
ITO
Glass Thickness

Optical Coatings

Hardness Coating
Anti-Reflection Coating
Anti-fog coating
Filters

產品列表

膜厚量測儀 (Thin-Film Thickness Measurement System)

F10-HC

F10-HC專門設計用於測量聚碳酸酯(polycarbonate)底材上的單層和多層（例如底漆/硬塗層）的厚度
測量硬塗層(hardcoat)和防霧膜(anti-fog film)的厚度
配置量測探頭方便在曲面的物件上做量測
全球已有數百台 F10-HC 儀器在使用中，幾乎全球主要的汽車硬塗層公司都在使用它們

F20

F20是世界上最暢銷的桌面薄膜厚度測量系統，提供多種附件和厚度覆蓋範圍
在全球有數千種應用，膜厚和折射率可以在不到一秒的時間內測量
不同型號的 F20 主要區別在於厚度測量範圍，而厚度測量範圍又取決於儀器的波長範圍
多種配件選擇，可滿足絕大部分薄膜厚度量測需求

F40

F40 是結合顯微鏡物鏡和彩色攝影機的膜厚量測儀
適合需要在待測樣品表面上進行微小限定區域的量測，或者其他應用要求小光斑時的最好選擇
多種物鏡倍數可供選擇，量測光斑尺寸最小可至1um
可選配手動或自動移動平台
多種配件選擇，可滿足絕大部分薄膜厚度量測需求

F50

F50配置電動R-Theta移動平台，可快速輕鬆地自動量測繪製(auto mapping)樣品上薄膜厚度分佈圖
可以非常快速移動到所需的測試點並量測厚度，大約每秒能測試兩點
配置高精度、使用壽命長的移動平台，確保能夠做上數萬次的測量
系統中預設了許多極坐標形，例如同心圓、方形和線性的圖形模式，也可以編輯自己需要的量測點位，測量點沒有數量上的限制
Chuck尺寸可支援直徑達 450 mm 的樣品

F54

F54基本架構與F50相同，但配置了如F40上的顯微鏡物鏡和彩色攝影機，可精確在微小區域上做量測
自動量測繪製(auto mapping)功能。
系統中預設了許多極坐標形，例如同心圓、方形和線性的圖形模式，也可以編輯自己需要的量測點位，測量點沒有數量上的限制
Chuck尺寸可支援直徑達 450 mm 的樣品。

3D光學表面輪廓儀 (3D Optical Profiler)

Profilm3D

以實惠的價格提供高質量的測量數據
具有簡單、創新的使用界面和自動化功能，可支持從研發、QA到生產的廣泛工作環境
具有業界領先的500um Z軸壓電長行程範圍的自動對焦，用來掃描由大距離高度差分隔的多個表面
具有長行程的自動化 X-Y 樣品台，非常適合測繪(mapping)和拼接(stitching)掃描
Profilm軟體套件具有ProfilmOnline®雲端網絡服務功能，支持公共或私人數據庫可與您的同事共享量測數據，可提供靈活的數據存儲、可視化和分析解決方案。

薄膜電阻量測儀 (Sheet Resistance Measurement System)

R50

提供四點探頭 (4PP) 和非接觸式渦流 (EC)
配置 100mm Z軸樣品掃瞄範圍，具有粗略和精確的高度控制
具有幾十年導電和半導體薄膜電阻測量豐富的經驗
客戶可使用矩形、線性、極坐標和自定義的點位進行測繪(mapping)量測
高精度 X-Y 平台提供高達 200mm 的行程
易於使用的軟體界面
與所有 KLA 薄膜電阻探頭兼容